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AutoOM 晶圓檢查
工具顯微鏡, 整合自動化(EFEM)功能, 並具備SECS/GEM、及自動結果量測、分析之設備。
AutoOM 晶圓檢查
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多面檢測設備
面對製造業中複雜多變的瑕疵樣貌與高變異生產環境,傳統AOI常陷於誤判與調校成本高昂的困境。AI多面外觀檢查機,以多面同步檢查與深度學習為核心,實現更高容錯性與分類準確率,不僅解決瑕疵難分類問題,亦能進行自動分料與模型持續強化,真正邁向高品質的智慧生產。
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IC散熱片檢測機
專為半導體晶片散熱片設計的全自動檢測機,結合深度學習模型與15μm高解析光學,99%瑕疵檢出率,精準識別漏銅、污染、刮傷等,助您提升產能與良率。
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